Tujuan dari penelitian ini adalah menilai kinerja Sistem Informasi Akuntansi berdasarkan kesesuainnya dengan prosedur dan mengukur tingkat kematangan Sistem Informasi Akuntansi pada Pemerintah Kota Semarang berdasarkan kerangka Kerja COBIT 4.1. Domain yang digunakan pada penelitian ini berdasarkan hubungan tujuan bisnis ke tujuan teknologi informasi pada perspektif internal dan pemetaan proses pengukuran kinerja teknologi Informasi ke tata telola teknologi informasi. Domain yang diperoleh yaitu PO2, PO3, AI1, AI2, AI4, AI5, AI6, AI7, DS1, ME1, dan ME4. Responden dari penelitian ini adalah Kepala Bagian, Kepala Sie, dan staf dari DPKAD dan PDE. Hasil dari penelitian ini adalah tingkat kinerja Sistem Informasi Akuntansi pada Pemerintah Kota Semarang berada pada tingkat kematangan 3 yang berarti pada tingkat yang terdefinisi. Hal ini menunjukkan bahwa pengendalian kinerja Sistem Informasi Akuntansi telah memadai dan didokumentasikan. Efektivitas kinerja dievaluasi secara berkala serta tata kelola Teknologi Informasi untuk mendukung Sistem Informasi Akuntansi, telah disesuaikan dengan tujuan dan hasil yang diharapkan.